スパッタリングターゲット

当社は国内最初のターゲットメーカーとして生産用・研究用の各種金属・化合物・ターゲットを製造しております。

金属

電極材としてのAl、Ni、Cuなど全ての金属ターゲットを製作しています。

磁気記録用Co-Cr-系や磁性膜用Ni-Feなど各種合金ターゲットを製造しております。

透明導電膜用のITO、AZOをはじめ誘電体用BSTなど各種酸化物を製造しております。

半導体電極用シリサイド系や絶縁保護膜用、反射防止膜用などの非酸化物を各種製造しております